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净化工程洁净车间技术是一个新兴的科学技术领域,是近些年来,根据企业生产发展和产品竞争力所需要的一门跨学科、跨部门的综合性科技新分支。洁净车间技术的兴起,使电子、食品、精细化产业的净化车间技术,得到了进一步的提升。
通过洁净车间技术在净化工程的应用中可以看出,洁净车间净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理,均采用了初级效率、中级效率、高级效率的空气过滤器。在十万级空气净化处理中,也可采用亚高效空气过滤器,进而代替高效空气过滤器。
洁净车间指的就是控制产品 (如硅芯片等) 所接触大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程称之为净化工程。洁净车间通过构造简单、系统建造成本低,洁净车间的扩充比较容易等优点,迅速在行业内发展开来。它还可以在某些特殊用途场所,并用无尘工作台,提高净化车间的洁净等级。净化工程中原来的洁净车间标准是由美国制定的,也是使用最广泛的。单位是帝国制度。允许粒子的最大数量为每立方英尺空气0.5微米粉尘。
另一种是国际单位,是通常使用的对值,即每立方米空气中允许的最大粒子数0.5μm尘埃粒子。
微电子净化车间是现代工业洁净车间应用的代表。
20世纪60年代初是中国洁净车间技术发展的开端,大约比国外晚了十年。在中国,这是一个非常特殊和困难的时期。
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