位移传感器在半导体制造中扮演着关键的角色，主要体现在以下几个方面：

1. 制造过程监测：半导体制造中的关键步骤（如光刻、薄膜沉积、离子注入等）需要高精度的位移控制和测量。位移传感器可以实时监测加工设备的位置和运动状态，确保制造过程中的准确性和稳定性，并提供数据支持进行过程优化。

2. 温度和震动监测：半导体制造过程对温度和震动非常敏感。位移传感器可以用于监测加工区域的温度分布和机械振动情况，及时发现异常情况并采取措施避免对制造质量的影响。

3. 偏位检测：在半导体制造中，对于微米级尺寸的结构，如电路线宽和器件间距等，偏位情况的检测至关重要。位移传感器可以精确测量这些微小的偏位，帮助确保器件的精度和一致性。

4. 自动化控制：位移传感器常被用于半导体制造设备的自动化控制系统中，实时反馈设备位置和位移信息，通过与其他传感器和执行器的联动，实现对制造过程的自动控制和调整。

通过位移传感器的应用，半导体制造过程可以实现更高的精度、稳定性和效率，提高产品质量，降低制造成本。此外，位移传感器还可以为半导体制造中的数据分析和质量控制提供可靠的原始数据，为制造优化和工艺改进提供依据。因此，位移传感器在半导体制造中的关键作用不可忽视。