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概述：
MEMS传感器是根据微机电体系的典型传感器产品。它是指能够批量制造的、集微结构、微传感器、微执行器以及信号处理和操控电路于一体的器材或体系。其特征尺度相对于传统传感器而言愈加细巧，一般在0.1μm～100μm规模。
MEMS传感器的制造，都涉及到电子、机械、资料、物理学、化学、生物学等当今科学技术的许多顶级效果，它将感知信息处理与执行机构相结合，改变了人类感知和操控外部国际的方法，具有宽广的运用远景。
MEMS传感器作为获取信息的要害器材，对各种传感设备的微型化起着巨大的推进效果，由最早的工业、军用航空运用走向一般的民用和消费市场。MEMS传感器广泛运用于社会、开展及人类日子都的各个领域，如工业自动化、农业现代比、航天技术、资源开发、海洋勘探、环境监测、交通运输等。
与传统的传感器比较，MEMS传感器体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化出产、易于集成和完结智能化的特色。一起，其微米量级的特征尺度，使得它能够更方便地集成到其他设备上，然后完结某些传统机械传感器所不能完结的功用。
产品概述：
MEMS气体传感器是运用MEMS工艺在SI基衬底上制造微热板，所用气敏资料是在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体资料。当环境空气中被检测气体存在时传感器电导率产生改变，该气体浓度越高，传感器的电导率就越高。在这种情况下，只需运用较为简略的电路，即可将电导率的改变转变为电流的改变，从而生成与该气体浓度相对应的输出信号。
1. 微型化规划。产品体积小、谐振频率高、功耗低、响应速度更快，一起，MEMS传感器外表体积比高的特性，也意味着传感器的灵敏程度更高。
2. 高度集成。不同功用、不同灵敏方向或致动方向的多个传感器和执行器，能够被集成于一体，构成高效、多功用的微传感器阵列或微执行器阵列，在小体积状态下完结更多功用。
3. 高温、低温环境下作业适应性杰出。产品功耗较低，作业进程中基本不产生热辐射，不会令周围环境产生显着的温度湿度改变，不影响相关监测进程的进行。
4. 抗震性好。MEMS传感器体积小、重量轻，处于震颤状态下时不易产生形变或移位现象，可坚持检测功能处在正常状态下。
5. 运用寿命长。
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