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许多用户在收购靶材时没有从专业的视点去考虑,所以购买靶材时,都需求留意哪些事项,下面就让北京瑞弛的小编为我们指出购买靶材时需求留意的事项。
首要,关于靶材来说,纯度是其首要功用目标之一,靶材的纯度对后期产品薄膜的功用影响很大。每一个产品对靶材的纯度要求也是有不同的。
其次,便是靶材的单个元素杂质含量。在通过一系列的靶材工艺处理后靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是堆积薄膜的首要污染源。因为靶材的用途不同,所以不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。比如现在的半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。
密度也是靶材重要的性能目标之一.在靶材的技能工艺中为了削减靶材固体中的气孔,进步溅射薄膜的功用,一般是要求靶材必要具有较高的密度。因为靶材首要特性密度对溅射速率有着很大的影响,而且影响着薄膜的电学和光学功用。靶材密度越高,薄膜的功用越好。
最终是晶粒度及晶粒分布。一般靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级。关于同一种靶材,晶粒纤细的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒标准相差较小(分布均匀)的靶溅射堆积的薄膜的厚度分布更均匀。
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