高纯气体中心供气体系规划方案 　高纯气体中心供气体系是专为高精度剖析测验设备所用高纯作业气体的传输而规划，体系需要为剖析设备供给压力、流量安稳且经过长间隔传输后纯度不变的高纯气体以满意各种高精度剖析设备的运用要求。体系一起还应该满意安全性的要求，并便利客户的日常运用及办理。

　　一、气瓶间布局

　　1．因为寄存的气体因为有可燃性气体和助燃气体，按国家规定有必要分库寄存。别离放入不同的气瓶间内。

　　2．气瓶间内建立一次调压面板，其间二托一面板带吹扫铜镀铬面板4套。

　　3．压力调理器进口前需加装烧结金属过滤器以避免颗粒等杂质污染体系。

　　4．一切面板均装备吹扫阀，可完成对面板的清洗置换。

　　5．压力调理器及相关管件均需结实的固定在压力调理面板上，面板应规划的紧凑而合理，以尽量削减体系中的死体积。

　　6．压力调理面板应选用全不锈钢资料制成，而且结实的固定在牢靠的方位上，保证其安全性。

　　7．气瓶间内寄存的气瓶选用带防倒链的气瓶支架固定，气瓶支架坚固耐用、美观大方。气瓶支架选用铝合金制造而成。

　　8．气瓶间内的气体钢瓶与压力调理器之间选用SS316L高压金属软管衔接无浸透。高压软管为柔性软管，以保证衔接的便利性。并自导防护钢缆，防备状况下，钢瓶阀损坏等现象带来的高压“抽鞭”事端。压力调理器与管道的衔接方法为双环卡套。

　　9．高压软管上的钢瓶接头必需与钢瓶角阀的标准相匹配，以保证衔接的牢靠性。

　　10．排空气路应分类搜集、固定结实并排放至室外安全地址。

　　二、终端布局

　　1．体系设置为二次减压体系。终端选用壁挂式规划。上设有压力调理器、输出压力指示计、紧迫切断阀，同一气路的呈上下对应排布，便利操作。面板为不锈钢产品，详细方位拜见图纸，详细装备状况如下：壁挂式终端标准型26套注：该终端能够完成在室内对设备的压力调理、输出压力的监控及气路开关操控，省去了每日往复于气瓶间和试验间的奔走，提高了办事效率。

　　2．操控终端上的气体出口尺度要与剖析仪的气体进口尺度相对应。气体出口接头还应便利装置。

　　三、气路的布线

　　1．气瓶间内压力调理面板与试验室内的气路终端之间选用SS316LBA管进行衔接，管道内外表光洁度为Ra<>级管道。

　　2．4N氮气主管线选用OD3/8”（6.35mm）的管道，0.5Mpa压力下流量可达8M3/小时，彻底满意惯例用气需求，支线选用OD1/4”（6.35mm）的管道。用焊接三通分出支路来对设备进行供气。

　　3．5N氮气、氦气、预留气主管线选用OD1/4”（6.35mm）的管道，支线选用OD1/4”（6.35mm）的管道。用焊接三通分出支路来对设备进行供气。

　　4．管道穿过障碍物时须运用管套并选用不可燃资料填充空隙。

　　5．管道之间选用的美国全自动定位轨迹式氩弧焊机进行表里维护氩弧焊（TIG）方法衔接，其长处是走漏率可到1X10-9s.c.c./sec.He,且不会再内外表发生氧化层或褶皱等焊接缺点。

　　6．管路上的三通悉数选用焊接三通来完成衔接，可更有用保证气体的传输质量。

　　7．管道需用固定卡具固定在管道支架上。管道支架为槽钢结构美观大方。与墙体和管道固定结实。且为耐火资料（铝合金）制成。

　　8．气体管路在铺设过程中要做到横平竖直，为保证管道走线的直线度和管道间的间隔，每间隔必定间隔应设置一组管卡。卡具应由不燃资料制造而成，美观大方。

　　9．应尽量削减曲折以避免被传输的气体压力、流量丢失过大。压力管道拐弯应力集中区应有安全加固，规划适宜的拐弯半径，曲折部位不能有皱折及歪曲。曲折半径和曲折质量由专用工具保证。体系布线应尽量削减接缝以下降走漏的可能性。

　　10．配管时的每根管道每个管件均要用高压的5N高纯氮气进行吹扫才干接入体系，整个体系装置结束后还要用5N的高纯氮进行大流量气体吹扫，以保证体系的洁净度即流出的气体无油脂及显着的固体颗粒物流出。

　　11．体系装置结束后要用高纯氮气进行高压部分、低压部分气密性试验，对整个体系进行检测。

　　12．压力调理面板和气路操控终端上张贴气路编号、气体品种、浓度等标识。　　 　高纯气体中心供气体系规划方案