在Parylene真空涂敷设备上，镀膜腔体与真空泵之间，需求低温捕集器。如下图。

常见的低温捕集器有以下3种方法：

1）液氮冷阱，是经济的低温捕集方法，简略牢靠，易于保护，费用低。可是液氮的供给受限制要素较多，另外在冷头里灌注液氮，不太便利。

2）超低温制冷机的冷头，替换液氮冷阱，是常见的低温捕集方法。长处是直接代替液氮方法，用户简略了解和承受。缺陷是冷头与制冷机之间，有不行拆开的低温软管，丢失部分冷量，若是低温状态下移动制冷机，简略损坏软管，形成制冷剂走漏。与真空体系装置，占用空间较多。

3）超低温制冷机的冷阱，替换液氮冷阱，是更合理的低温捕集方法。将液氮冷头和真空罐一同去掉，从镀膜腔体的真空接口，选用真空软管，衔接到超低温冷阱的真空接口，然后连到真空泵。超低温冷阱与超低温冷头比较，愈加简略牢靠，装置和保护更便利。

液氮冷头作为低温捕集器，捕集温度低，保护简略，但运用不便利，常见于试验室里。

在工业范畴，常见的是选用超低温制冷机作为低温捕集器，温度范围在-80℃~-145℃，一般分为冷头和冷阱两种方法。

超低温冷头的方法，长处是直接代替液氮冷头，也正好利用了原规划的液氮冷头的附加真空罐。缺陷是液氮冷头或超低温冷头，法兰接口都是非标，需求定制；超低温冷头的黑色衔接软管，保温层相对缺乏，会丢失一部分冷量，低温时也比较软弱、禁止移动。

超低温冷阱的方法，不需求附加的真空罐，整机组织简略。从镀膜腔室，直接衔接冷阱即可。不会有冷量的丢失、坚固耐用；接口选用真空规范方法KF40或KF50，十分便利牢靠，也是真空体系的惯例规划方案。

下图左面是冷头的方法，黑色的低温衔接收，低温时比较软弱，有冷量丢失。

下图右边是冷阱的方法，真空衔接比较简略牢靠，镀膜腔室à冷阱à真空泵。

下边的大图，是选用台式冷阱的规划示意图（已批量使用）。

在超低温范畴，长流仪器(Coolium instruments)是一家的研发型企业，为客户供给品种繁复的低温产品。比方温度为-50℃、-80℃、-110℃、-120℃、-135℃、-145℃的规范机型。一起也承受各种用户需求的非标定制。

长流仪器VaporCold超低温冷阱配套Parylene设备，已有超越15年的时刻，配套的超低温冷阱超越500台，用户散布在国内、东南亚、欧洲、北美等商场。

长流仪器服务于Parylene设备，有丰厚的经历和自傲，可为用户供给多种解决方案。下图是长流仪器的部分机型图片，包含超低温冷头、超低温冷阱。

* 单压缩机自复叠制冷技能，降温快、温度低、节能环保、功能牢靠。

* 机型品种完全，立式或台式、冷头或冷阱，便于用户挑选配套。

* 冷头或冷阱按真空规范进行规划、制作和测验，满意真空技能要求。

* 在冷头或冷阱的低温外表，部分机型可选防腐蚀涂层，大大推迟运用寿命。

下边是一些国内外的使用实例，冷阱方法各异，供我们比照和参阅：