纵观半导体设备的开展前史，不难发现半导体设备紧随芯片制作中心而不断东移：从70-80时代的美国，到80-90时代的日本，再到90时代后期的我国台湾与韩国。

跟着我国制作技能的不断开展，与自身巨大的市场需求彼此帮衬，未来十年，我国有望成为半导体芯片制作的中心。

现在，在国家严重科技专项的支持下，集成电路首要工艺设备如PVD、PECVD、CMP、介质刻蚀机、CMP等技能均有明显提高。而IC晶圆出产线的设备国产化率也在不断提高。设备技能的提高也拉高了对光学传感器功能的需求。除了对精度、安稳性等功能要到达极高的规范外，传感器也被要求完成更多的检测使命。

作为有着超越75年前史的工业传感器出产厂商，SICK具有深沉的技能堆集，丰厚的产品品种，可认为半导体设备厂商供给更多样的产品、更优异的功能以及更专业的服务。

1、硅板厚度丈量

产品系列：OD5000位移丈量传感器 订货号：6063621

客户运用:太阳能硅片分选机，客户需求在皮带运送线上检测硅片的厚度，精度要求为2um

选用2*OD5000-C30T05上下组合方法，来丈量硅片的厚度

客户运用上位机承受数据做算法处理，断定硅片的标准

客户获益:

双头侧厚，经过以太网接口和集成在传感器内部点评单元，无需额定控制器核算

高达80kHZ丈量频率，精确丈量细小改变

激光定位愈加柔性，可视觉，产品定位精度更高

实时在线丈量，相对于线激光计划，节约本钱，精度更高

2、石英载具到位检测

产品系列：WTF12G 订货号：1065719

客户运用：石英载具装载硅片进行热处理、涂层等一系列工艺流程。

需求对半通明石英载具进行安稳到位检测，因为热处理中温度较高，无法装置反射板，只能挑选漫反射。

检测间隔较远，无法运用V镜头光电传感器。

客户获益：

WTF12G是漫反射远景按捺型原理，无需反射板，只需对布景进行示教即可

能够安稳地检测通明、半通明等物体

检测间隔可达700mm